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HORIBA 流量計液體流量計LF-F50M-A
LF-F類型質量流量控制器根據流量量程,可以適用到 值, 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。 *3: 以SEMI E56-1296 為準。 *4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內。 *5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。 •超潔凈類型 規格 名稱 質量流量計 型號 LF-F20M-A LF-F30M-A LF-F40M-A LF-F50M-A LF-F60M-A 全標度流量
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