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                    SEC-Z514質量流量控制器

                    簡要描述:規格SEC-Z512X和SEC-Z522X數字式/模擬式質量流量控制器,適用于50slmN2標稱流量

                    • 產品型號:
                    • 廠商性質:經銷商
                    • 更新時間:2023-10-14
                    • 訪  問  量:274
                    詳情介紹

                     

                    規格

                    SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于50slm N2 標稱流量.

                    SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于200slm N2 標稱流量.

                     

                    SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質量流量控制器, 適用于 50slm N2 標稱流量.

                    SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質量流量控制器, 適用于 200slm N2 標稱流量.

                    概要

                    質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。 

                    HORIBA STEC, 作為范圍內*超過35%*1的流量計生產商, 長期以來始終如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品?,F在,手攜全新的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器: Z500系列。 

                    相對于舊有的型號,Z500X 系列實現了全新的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換??蛻艨梢愿鶕瞥绦枰?,輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。 

                    此外,藉由產品材料的技術革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產品的設計要求,為客戶提升產品價值。 

                    高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。正見證著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。 

                    *1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
                    *2 復合氣體、復合流量功能。 

                    特征

                    • 高精度:設定流量值±1.0%.
                      MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的, 此技術保證在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統, 并在大量實驗的基礎上,采集各種制程氣體的校準數據。
                    • 高速響應
                      SEC-Z500X 使用了開發的“可更改PID”系統,保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時,PID數據將進行自動的調整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數據也能夠自動優化,實現高速響應。
                    • 復合氣體、復合流量方案
                      HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數量,同時節省了時間和成本。


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