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                    產品展示 / products 您的位置:網站首頁 > 產品展示 > > SIERRA質量流量控制器 > SEC-E50質量流量控制器

                    SEC-E50質量流量控制器

                    簡要描述:概要它是搭載有溫控閥的基本型號

                    • 產品型號:
                    • 廠商性質:經銷商
                    • 更新時間:2023-10-14
                    • 訪  問  量:262
                    詳情介紹

                    概要

                    它是搭載有溫控閥的基本型號。
                    利用小型裝置的SEC-310,可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
                    高精度型號:SEC-405可以進行±0.5%F.S.的流量控制。

                    特征

                    •  可對應±0.5F.S.SEC-405(氣體種類限定)
                    • 同系列產品,從0.1CCM200SLM(N2)都可進行流量控制
                    • 實現面間距離106mm: SEC-300型式

                    規格

                     

                    SEC-310

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開; NC: 非通電時:關閉

                    標準流量量程

                    5/10/20/50/100/200/500 SCCM

                    流量控制范圍

                    2?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±1.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-320

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    5/10/20/50/100/200/500 SCCM

                    流量控制范圍

                    2?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-405

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8

                    流量控制范圍

                    2?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±0.5% F.S.(滿量程)

                    SEC-410

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

                    標準流量量程

                    10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±1.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-510

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

                    標準流量量程

                    10/20 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±1.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-510A

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

                    標準流量量程

                    30/50 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±1.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-520A

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    30/50 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-551

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開 ;NC: 非通電時:關閉

                    標準流量量程

                    30/50/100 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±1.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-552

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、バイトン

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    30/50/100 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-610

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    50/100/150 SLM

                    流量控制范圍

                    10?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±1.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-620

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    50/100/150 SLM

                    流量控制范圍

                    10?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-623

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    150/200 SLM (H2:300 SLM)

                    流量控制范圍

                    10?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-400MK2

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-500MK2

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    10/20 SLM

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-400MK3

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                    SEC-500MK3

                     

                    氣體接觸部材質

                    SUS-316、氟化橡膠

                    閥門類型

                    NO: 非通電時:開

                    標準流量量程

                    10/20 SLM :空氣.N2.O2.Ar.H2.He

                    流量控制范圍

                    5?100% F.S.(滿量程)

                    流量精度

                    ±2.0% F.S.(滿量程)

                     



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