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深圳市天鉉真空技術有限公司
LAM797-800733-100半導體機臺配件MFC649B-32597
near/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新
延長了使用壽命
加熱元件的發熱越有效,需要對它們進行的加熱就越少。Plansee 研發了一種能夠熱輸出的涂層工藝。
鎢基層具有高孔隙率的
鉬(熔點:2620°C)和鎢(熔點:3420°C)均是難熔金屬,高熔點使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
耐腐蝕:
鉬和鎢在各種環境中都具有耐腐蝕性,甚至在溫度下也是如此:
鉬 | 氨氣 |
在操作過程中,反應室部件中的雜質也可能污染半導體。要保證半導體的質量和 LED 或晶體管的效率,我們的材料必須無雜質。我們保證材料純度高于 99.97%。
蒸氣壓低:
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