LF-F/LV-F 系列oerlikong萊寶真空低溫泵COOLVAC10000iCL維修VAT61340-PEGK-BED1閥門出售
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等離子注入機刻蝕VAT閥門08
本公司主要經營的品牌有:
HORIBA
MKS
BROOKS
UNIT
AERA
MKS
MYKROLIS
MILLIPORECTI BROOKS遠程顯示器模塊控制OB8 iso200接口現貨
SAM
STEC
萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar(0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托)屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態物質通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空,冷表面(低溫板)必須冷卻到足夠低的溫度。根據所用冷卻系統的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發器低溫泵。
客戶得益
- 所有氣體都有高抽速
對于相同直徑的高真空法蘭,低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。
與氣體傳輸泵(例如渦輪分子泵)相比,低溫泵在真空側沒有任何機械活動
≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無烴真空
其它優點:
- 僅啟動和再生期間需要前級泵
- 性價比更高,使用成本更低,尤其是需要大抽速的應用
萊寶真空生產的低溫泵采用本廠生產的COOLPOWER雙級冷頭冷卻(Gifford/McMahon原理)。
一級冷頭(9)冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板(6)。
熱輻射防護屏和障板為銅質,它們能很好地傳遞熱量,從而優化制冷容量。
根據工作條件,達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。
COOLVAC制冷機低溫泵
為了保證在安全閥動作時,安全地排出可能影響健康的氣體,安全閥另配有一個 DN 40 KF 法蘭,上面可以連接一條排氣管線。
低溫泵工作的一個重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵,所以被抽氣體都蓄積在泵內,飽和后必須泵排出。
非電控再生系統的低溫泵這種低溫泵通過向泵內吹掃干燥、預熱的惰性氣體(例如氮氣)加熱低溫區到室溫。此情況下,由于低溫泵內不可能有確定的和受控制的溫度,所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。
由于萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大,可以同時驅動兩個以上冷頭或低溫泵。
- 極大的降低投資和操作成本
低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下,低溫泵內可以達到確定和受控制的溫度分布。這個受控制的加溫過程保證了氣體被連續排出,也就是按以下順序氣體一個接一個
-?吸附在冷傘上的氣體(例如氫氣、? 氦氣、氖氣)
-?冷凝在障板和熱輻射防護屏上的氣? 體和蒸汽(例如水蒸汽)
加溫過程為全自動,泵內的壓強和溫度分布,始終由控制系統確定和控制,從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。
萊寶真空的低溫泵分自然再生(BL)和全自動加熱再生(iCL)兩個系列:
品。
2. COOLVAC BaseLine的命名規則相同,可提供從1500到60000l/s的全系列產品。
萊寶真空可以根據客戶要求提供特制低溫泵,如為航天環境模擬應用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2,詳細信息請和我們聯系。
- 蒸發器
- 離子注入機